Auflösungen: ~ 1 µm im Augermodus und < 100 nm in der Sekundärelektronenmikroskopie Rasterkraftmikroskopie zur topographischen Charakterisierung von Oberflächen. Auflösung: ~ 1 nm lateral und < 1 nm vertikal […] elektrischen und topographischen Charakterisierung dünner dielektrischer Schichten. Auflösung: ~ 1 nm lateral und < 1 nm vertikal Elektronenemissionsmikroskopie von Oberflächen (direkt abbildendes, nicht rasterndes

Raster-Augermikroskopie Laterale Auflösungen: ~ 10 nm im Augermodus Auger-Tiefenprofiluntersuchungen mit 1 nm Tiefenauflösung Bruchkantenuntersuchungen REM < 5 nm in der Sekundärelektronenmikroskopie XPS Link […] oskopie Femtosekunden-Lasersystem Femtosekunden-Ti:Saphir-Lasersystem (Abstimmbereich 700-1000 nm, 1 W @ 800 nm, 80 fs. Oszillator/Pumplaser: Spectra Physics Tsunami/Millennia Femtosekunden-Ti:Saphir- […] ~100 fs, Modell Light Conversion Topas) Pikosekunden-Lasersystem Pikosekunden-Nd:YAG-Lasersystem (1,064 µm, 500 Hz, 9 mJ, 25 ps, Oszillator: Lightwave Electronics, Verstärker: Eigenbau mit diodenlase

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