realisiert. Nähere Informationen zu den Elementen und zum Prozess des Qualitätsregelkreises werden in Teil 1 des Qualitätsmanagement-Handbuchs (QM-Handbuch) für Studium und Lehre (Qualitätsmanagementsystem) gegeben:
möglich, andererseits auch ein sehr schnelles Aufheizen. Ferner lassen sich Temperaturen oberhalb von 1.000 °C prozesstechnisch leichter erzielen. Ein vom Land Niedersachsen finanziertes Investitionsprojekt
zusammengefasst: In der vorliegenden Konfiguration (Write Mode II) beträgt die minimale Strukturgröße 1 µm. Als Substrat können unterschiedlichen Materialien (Glas, Silizium, Diamant ...) verwendet werden
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